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ULVAC愛發(fā)科UR3601-TT多級羅茨干式真空泵 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產生的升華廢氣物質以 氣態(tài)排出。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 UR1800 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產生的升華廢氣物質以 氣態(tài)排出。

ULVAC愛發(fā)科UR1200多級羅茨干式真空泵 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產生的升華廢氣物質以 氣態(tài)排出。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵UR421-T 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產生的升華廢氣物質以 氣態(tài)排出。

ULVAC愛發(fā)科 UR600 多級羅茨干式真空泵 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產生的升華廢氣物質以 氣態(tài)排出。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 HR1200 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產生的升華廢氣物質以 氣態(tài)排出。