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ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 UR1800

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 UR1800
通過在高溫范圍內(nèi)均衡泵體的熱量,可以將 CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以
氣態(tài)排出。

產(chǎn)品型號(hào):北崎供應(yīng)
更新時(shí)間:2025-06-07
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問量:41
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ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 UR1800

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可以在氣態(tài)下排放高溫區(qū)域熱均衡

CVD 和蝕刻產(chǎn)生的升華廢氣排放物。

“Model:UR" 甚至可以高于 “Model:HR"。

由于安裝了密封

性密封電機(jī),因此非常安全。

瞬時(shí)停止:在 1000 毫秒內(nèi)實(shí)施瞬時(shí)停止

措施。

優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊

表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時(shí)泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能:

可以讀取泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報(bào)歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過使用專用軟件和計(jì)算機(jī)通信,可以進(jìn)行集中監(jiān)控。

CVD 設(shè)備

蝕刻設(shè)備

灰化裝置

ALD、ALH 等




我司代理及優(yōu)勢(shì)品牌一覽明細(xì):

代理品牌:CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計(jì)、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗 

優(yōu)勢(shì)品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、TORAY東麗、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機(jī)歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計(jì)器

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學(xué)KURABO倉(cāng)紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機(jī)

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫(kù)斯、YODOGAWA淀川等





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