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原裝HORIBA堀場排氣壓力控制器EC-5104 這是一種排氣壓力控制器，可將腔室的內(nèi)部壓力控制為您選擇的恒定值。高分辨率步進電機結(jié)構(gòu)的蝶閥提供高速響應(yīng)和高分辨率性能。

日本原裝HORIBA堀場PV-1000壓電閥 一種高速響應(yīng)閥，用于使用來自外部設(shè)備的控制信號來控制氣體流量或壓力。采用金屬膜片和金屬O型圈。與氣體接觸的部件采用全金屬結(jié)構(gòu)，兼容超潔凈。不僅可以控制氣體，還可以控制液體。

北崎HORIBA堀場數(shù)顯自動壓力調(diào)節(jié)器UR-Z700 這是一款配備數(shù)字控制電路的自動壓力調(diào)節(jié)器，該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應(yīng)壓電閥。 采用全金屬結(jié)構(gòu)（氣體接觸部分）和無死體積結(jié)構(gòu)，可對腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進行穩(wěn)定的壓力控制。它可以使用

HORIBA堀場晶圓背面壓力控制系統(tǒng)GR-300 GR-300系列對氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進行微壓差控制，還可以進行流量測量。

HORIBA堀場GR-511F晶圓背面壓力控制系統(tǒng) GR-511F 對氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進行微小壓力控制，還可以進行流量測量。

日本HORIBA堀場液體物料汽化系統(tǒng)MV-2000 這是一種汽化（氣化）純水和液體材料的汽化系統(tǒng)。采用龍卷風(fēng)流方式的高效汽化，實現(xiàn)低溫下的穩(wěn)定汽化。該模型非常適合作為“液體材料：半導(dǎo)體工藝中使用的高k材料等”的穩(wěn)定蒸發(fā)系統(tǒng)。通過設(shè)置用于載氣控制的質(zhì)量流量控制器和用于測量液體物料流量的質(zhì)量流量計，完成高效的汽化系統(tǒng)。