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ULVAC愛發(fā)科HR300 多級羅茨干式真空泵

產品簡介

ULVAC愛發(fā)科HR300 多級羅茨干式真空泵
通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量,可以將 CVD、蝕刻等產生的升華廢氣物質以
氣態(tài)排出。

產品型號:北崎供應
更新時間:2025-06-07
廠商性質:經銷商
訪問量:44
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ULVAC愛發(fā)科HR300 多級羅茨干式真空泵 

ULVAC愛發(fā)科HR300 多級羅茨干式真空泵 


可以在氣態(tài)下排放高溫區(qū)域熱均衡

CVD 和蝕刻產生的升華廢氣排放物。

“Model:UR" 甚至可以高于 “Model:HR"。

由于安裝了密封

性密封電機,因此非常安全。

瞬時停止:在 1000 毫秒內實施瞬時停止

措施。

優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊

表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時泵內部的腐蝕。

通信功能:

可以讀取泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄數據。 通過使用專用軟件和計算機通信,可以進行集中監(jiān)控。

CVD 設備

蝕刻設備

灰化裝置

ALD、ALH 等

HR60HR90HR300型HR600 型HR1200 型
使用的泵DRPHR60HR90HR60HR90HR90
MPB--PRC-003A 系列PRC-006A 系列PRC-012A 系列
最大
抽速
50 赫茲m3/h
(升/分鐘)
62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
60 赫茲m3/h
(升/分鐘)
80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
極限壓力50.67     
最大入口壓力
(入口壓力)

大氣壓力 *1
最大排氣口壓力
(排氣壓力)
1~大氣壓
進氣口 (CE 規(guī)格)VG50(KF50) 系列VG80型 (KF50)VG80(KF80) 系列VG100型 (KF100)
排氣口肯氟烴40
質量公斤180245275370420
電力三個階段交流電(Hz)200(50/60), 220(60)
當前值穩(wěn)態(tài)一個7.1
(200V 時)
11.2
(200V 時)
7.8
(200V 時)
12.9
(200V 時)
15.4
(200V 時)
最大值一個7.3
(200V 時)
11.8
(200V 時)
8.1
(200V 時)
13.8
(200V 時)
18.9
(200V 時)
冷卻水臨時壓力兆帕0.1~0.3
冷卻水入口/出口壓差兆帕>0.1
冷卻水流量升/分鐘>5.0
吹掃氣體一次壓力兆帕0.1~0.5
二次壓力兆帕0.05~0.1
N2 吹掃SLM 系列5
加斯伯勒SLM 系列0~45




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