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日本 EBARA荏原干式真空泵EV-M102N

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

日本 EBARA荏原干式真空泵EV-M102N
干式真空泵是節(jié)能、高負(fù)荷工藝的理想選擇
能夠在重負(fù)荷下進(jìn)行處理
兼容高溫控制
節(jié)能
采用耐腐蝕材料標(biāo)準(zhǔn)
耐腐蝕性增強(qiáng)選項(xiàng)
在不同頻率下具有相同的性能 (50/60 Hz)

提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL

產(chǎn)品型號(hào):原裝
更新時(shí)間:2025-02-22
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問量:40
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日本 EBARA荏原干式真空泵EV-M102N

日本 EBARA荏原干式真空泵EV-M102N

荏原 (EBARA) 高溫技術(shù)支持高負(fù)荷工藝,在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池的制造過程中會(huì)產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物。 由于其高節(jié)能性能,可以處理高負(fù)載過程并同時(shí)節(jié)省能源。 標(biāo)配耐腐蝕材料,還提供排量為 110,000 L/min 的大排量型號(hào)。 憑借根據(jù)工藝條件的豐富產(chǎn)品陣容,可以處理各種高負(fù)荷工藝。

單位EV-M20N 系列EV-M102N 系列EV-M202N 系列EV-M302N 系列EV-M502N 系列EV-M505SF 系列電動(dòng)車 EV-M802N電動(dòng)叉車 EV-M805SFEV-M1205SF
抽速升/分鐘1,80010,00020,00030,00050,00050,00080,00080,000110,000
極限壓力50.50.50.50.50.50.50.50.5
連接直徑進(jìn)氣口
西北 40ISO100 認(rèn)證ISO100 認(rèn)證ISO100 認(rèn)證ISO160 認(rèn)證ISO160 認(rèn)證ISO200 認(rèn)證ISO200 認(rèn)證ISO200 認(rèn)證
排氣口
西北 40西北 40西北 40西北 40西北 40西北 40西北 40西北 40西北 40
極限壓力下的近似功率千瓦1.21.81.92.32.13.92.84.65.3
冷卻水流量升/分鐘3~83~83.5~84~85~85~85~85~85~8
溫度°C最多 30 個(gè)最多 30 個(gè)最多 30 個(gè)最多 30 個(gè)最多 30 個(gè)最多 30 個(gè)最多 30 個(gè)最多 30 個(gè)最多 30 個(gè)
注 2流量帕•m3/秒26~3126~3126~3126~3128~3322828~3322834~35
電源相位/電壓/頻率200V 型號(hào)
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V 型號(hào)
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
-三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
電源容量千伏安3.35.466.87.115.78.319.414.2
近似質(zhì)量公斤170320360400500580740820870


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