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當(dāng)前位置:首頁(yè)技術(shù)文章EBARA 荏原干式真空泵EST500WN

EBARA 荏原干式真空泵EST500WN

更新時(shí)間:2025-06-21點(diǎn)擊次數(shù):17

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EST 型 干式真空泵能夠處理反應(yīng)副產(chǎn)物并排出大流量氣體 兼容高溫控制 抽速大 大流量排氣 采用耐腐蝕材料標(biāo)準(zhǔn) 耐腐蝕性增強(qiáng)選項(xiàng) 能夠在重負(fù)荷下進(jìn)行處理 在不同頻率下具有相同的性能 (50/60 Hz) 油 提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL

EST 型號(hào)使用螺桿式轉(zhuǎn)子,并配備了高溫功能,可將泵中的氣體保持在高溫,使其非常適合 CVD 等形成反應(yīng)副產(chǎn)物的應(yīng)用。 標(biāo)準(zhǔn)使用耐腐蝕材料,實(shí)現(xiàn)高抽速和高流量泵送,減少停機(jī)時(shí)間并有助于提高工藝效率。



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